ALOHA™
에어리퀴드의 첨단 반도체 공정을 확인해보세요.
역동적인 ALOHA™ 포트폴리오는 고객이 직면한 주요 과제를 해결하기 위해 맞춤화된 박막 제조용 화학 도구입니다. 에어리퀴드는 일관되고 안정적인 공급을 제공하기 위해 성공적인 솔루션을 산업화하여 고객의 성공을 지원합니다.
리더십 및 혁신
ALOHA™는 실리콘, 하이 k, 금속에 고유 전문성을 갖고 있는 반도체 증착 재료의 선도기업입니다. 주요 혁신 클러스터와 가까운 일본, 한국, 미국에 위치한 R&D 센터를 통해 고객의 혁신을 지원합니다. 각 재료는 목적에 따른 응용 분야를 참고하여 소규모로 설계하고 고객의 재료 요구 사항에 대한 보다 계획도 고려하였습니다.
ALOHA™ 기술 리더십은 화학 전구체를 넘어 패키징과 배송을 포함합니다. ALOHA™ 패키지는 각 분자에 대해 균일한 배송을 보장하며 안전 및 규제 요건에 맞게 설계되었습니다. ALOHA™ 캐니스터 플릿 관리는 일관되고 안정적인 공급을 유지합니다.
주요 ALOHA™ 재료에는 화학 기상 증착법(CVD) 및 원자층 증착법(ALD)에 사용되는 ZyALD™, TSA, HCDS 및 SAM.24™가 있습니다. 에어리퀴드는 새로운 분자 스크리닝, 합성, 정제, 패키징, 화학 물질 분석 및 응용 개발에서 세계적 수준의 역량을 갖고 제품을 확장하고 있습니다.
일부 신제품에는 첨단 반도체 장치에 사용되는 루테늄, 텅스텐 및 코발트와 같은 금속 증착용 전구체가 포함됩니다.
“에어리퀴드의 R&D와 선도적인 고객사 및 도구 제조업체와의 공동개발 프로그램을 통해 첨단 반도체를 제조하는 재료 혁신의 최전선에 서게 된 것을 자랑스럽게 생각합니다.
”
Jean-Marc Girard
에어리퀴드 어드밴스드 머리티얼즈 CTO
공급망 통합
글로벌 플랫폼에서 새로운 분자의 신속한 시장 도입과 산업화는 ALOHA™ 제품의 성공 요인이었으며 앞으로도 에어리퀴드 운영의 핵심 요소가 될 것입니다. 모든 주요 반도체 국가의 강력한 유통 네트워크를 통해 최고의 고객 서비스를 위한 로컬 인터페이스를 제공합니다.
안전, 품질 및 신뢰성
에어리퀴드의 일부인 ALOHA™ 제품은 안전 정신을 철저히 계승했습니다. 패키지는 고객사에 안전하고 신뢰할 만한 배송을 할 수 있도록 화학 물질의 특성을 고려하여 설계되었습니다.
고급 계측을 통해 당사 제품의 엄격한 품질 및 공정 제어를 보장합니다. 통합되고 고유한 분석 전문성에 접근하면 신속하고 투명하고 신뢰할 수 있는 프로세스 제어 및 고객 서비스가 가능합니다.