전자 산업 제조업체는 공정을 지원하기 위해 고급 장비 및 설치를 필요로 하고 전자 재료(전구체 분자)의 적절한 공급, 보관, 적용 및 사용을 보장하고 있습니다. 전자 제품 제조에 사용되는 가스, 공정 화학 물질 및 액체 전구체 부문의 전문기업인 에어리퀴드는 올바른 장비, 철저한 안전, 동급 최고의 신뢰성 및 뛰어난 제어력을 제공합니다.
전 세계 수천 곳에 설치
반도체, 태양광전지, 및 평판 디스플레이 제조업체의 경우, 공정 유체의 안전하고 신뢰할 수 있는 공급이 가장 중요합니다.
에어리퀴드는 전달 시스템, 가스 캐비닛, 밸브 매니폴드 박스, 화학 물질, 슬러리 혼합 및 분배 시스템, 배기 처리 시스템을 제공하는 전문성을 보유하여 고객사 공정의 안전성, 청정도 및 효율성을 지원합니다.
고객사 플랜트에서 근접한 입지에 위치한 장비 제조 설비 5곳
에어리퀴드에서는 신규 제조 시설에 가스 및 화학 물질 분배 장비를 공급 및 설치하고 초순수 가스 및 화학 물질 유통 네트워크의 턴키 설치를 지원합니다. 또한 중앙 제어 및 모니터링 시스템을 제공하고 있습니다.
현재까지 가스 캐비넷 10,000개 이상, 화학 물질 관리 시스템 10,000개 이상, 전구체 전달 시스템 500개, 대량 극저온 정수기 100개, 온라인 연속 품질 관리 시스템 50개를 전 세계에 공급하고 설치했습니다.
에어리퀴드의 장비 제조 현장 5곳 및 설치팀은 반도체, 태양광전지, 평판 디스플레이 제조 공장 가까이 전략적인 위치에 입지해 있습니다.
전자 재료 제공을 위한 혁신
화학 물질과 가스 분배 및 정화 시스템을 위한 당사의 장비와 턴키 엔지니어링 솔루션에 대해 알아보십시오.우리가 제공하는 장비와 솔루션은 아래와 같습니다:
- 실린더 내 특수 재료의 완전 자동화, 완전 이중화 공급을 위한 FabStream 가스 캐비닛
- 원하는 유속으로 액화된 전자 특수 재료의 100% 증기 상태 전달을 보장하는 특허 기술을 사용하여 액화 특수 재료의 최적화된 분배를 위한 FabStream All Vapor Phase
- 매우 높은 유속으로 염화수소, 실란 및 아산화질소와 같은 전자 첨단 재료의 완전 자동화 및 완전 중복 분배를 위한 FabStream 벌크 전달 시스템
- 실린더에 전자 특수 재료를 비용 효율적으로 분배하기 위한 SaFlow™ 가스 캐비닛
- 톤 탱크 및 번들의 특수 재료를 비용 효율적으로 분배하기 위한 SaFlow™ HI
- 손쉬운 작동 및 유지보수를 위해 설계된 CANDI™ 액체 전구체 분배 장비
- 매우 안정적이고 구성 가능한 플랫폼에서 수성 및 용매 화학 물질의 분배를 위한 ChemFlex™
- 화학 기계적 연마 슬러리의 정확한 혼합 및 자동 분배를 위한 ChemFlex™ CMP
- 고순도 화학물질의 정확한 혼합을 위한 ChemPrep™
- ULTRAL™ 벌크 극저온 정수기(질소, 수소, 헬륨, 아르곤)
- 연속 온라인 캐리어 가스 순도 모니터링 시스템을 위한 원격 모니터링 연속 품질 관리(CQC) 시스템
- 가스 제조 도구의 비용 효율적인 처리를 위해 일본에서 DETOXAL™ 사용 가능
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With 40 years of expertise in electronics equipment and installations, Air Liquide Electronics Systems (ALES) has developed a complete range of innovative fluid distribution equipment designed to meet the needs of the electronics industry, laboratories, and other industrial markets.