벌크 가스 공급 솔루션
트럭으로 배달되는 고순도 제품
전자 산업 제조업체는 고순도 가스에 의존하여 제조 공정에 필요한 최고 수준의 청정도 및 공급의 변함없는 안정성을 보장합니다. 에어리퀴드는 이와 같은 주변의 문제에 매일 대응합니다.
대규모 설비로 생산되는 수소는 압축 가스 또는 극저온 용기에서 액체 형태로 저장 및 전달됩니다.
산소, 질소, 아르곤은 공기 분리 장치에서 생산되고 액화됩니다. 이러한 제품은 생산 시설에 보관된 다음 극저온 단열 탱커를 통해 고객에게 직접 배송됩니다.
수소는 대용량 설비에서 생산되며, 압축 가스 또는 극저온 용기에 액체 형태로 저장 및 전달됩니다.
벌크(주로 액체 극저온 형태) 설치는 다음으로 구성됩니다.
- 하나 이상의 저장 탱크
- 주변의 대기, 물 또는 증기와 같은 열원을 이용하여 극저온 액체를 가스로 변환하는 기화기
- 압력 조절 장비
전자 제품 제조 공정에서 벌크 가스 사용
에어리퀴드의 고순도 대용량 가스는 다음과 같은 독특한 방식으로 공정에 사용됩니다:
- 질소는 반도체 공정에서 불순물 및 산화에 대한 전반적인 제어 및 보호 기능을 제공합니다. 질소는 도구 원자로 내부의 반응성 가스 구성 요소를 조정합니다.
- 아르곤은 반도체 생산의 불활성화, 스퍼터링 공정, 반응성 이온 식각 및 플라즈마 처리에 사용됩니다.
- 수소는 환원제로 에피택시 반도체 공정에 사용됩니다.
- 초순수 형태의 산소는 특정 물질(예: 실리콘에서 이산화규소까지)을 산화시키는 역할을 하며 산화를 위해 반응형 오존을 만듭니다.
- 열전도율 향상에 사용하는 반도체의 헬륨은 특정 공정 단계에서 실리콘 잉곳(웨이퍼) 온도를 정밀하게 제어합니다.
- 압축 건조 공기(CDA)는 습식 및 주요 리소그래피 단계에서 제조 장비를 공급하고 보호하는 데 주로 사용됩니다. CDA는 기기 공기 및 유틸리티 응용 분야에서 사용됩니다. 디스플레이 제조에는 방대한 양의 CDA가 필요합니다.